◆ 採用高解析度 Line CCD 光學辨位系統
◆ 獨創的演算法，快速推算出定位
◆ 對應透明材質工件，也能無誤判位
◆ 優秀的感測能力，支援具 Notch、平邊、雙平邊與翹取晶圓
型號
HAL150V-0206S/0408S/0408W ; HAL300V-0612S/0612W/0812S/0812W
支援晶圓尺寸
2吋/3吋/4吋/5吋/6吋/8吋/12吋 (50mm~300mm)
晶圓允許最大偏差
X/Y：±5mm(2吋晶圓：X/Y：±3mm)
定位中心/角度精度
≦±0.1mm/≦±0.3mm ; ≦±0.1°/≦±0.2°/≦±0.3°
電源 / 控制介面
直流24V±10%,5.5A(最大) ; Ethernet,RS232C
