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三和技研 SMIF Indexer

SMIF Indexer

製造商

三和技研股份有限公司

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簡介

使用於8"晶圓晶舟 ( SMIF POD )傳送盒之開啟與關閉

內容規格表

◆ 內建RS232，Ethernet
◆ Parallel IO,SECS I/II (選配)
◆ SEMI S2 標準認證
◆ 內建晶圓判讀與突出檢測功能
◆ 容易安裝，操作與維護
◆可選配適配器，進行Open Cassette上的應用

型號

SF Indexer/SF Opener

主骨架

鋁件+陽極處理

晶圓卡匣尺寸

200 mm

晶圓取放位置

44.4~62.6 mm

Z軸晶圓重複精度

±0.1 mm

臺階位置(可程式控制) / 行程

142.6 mm/166.1 mm ; 272.5 mm/396 mm

速度

66 mm/s(等速)

固定方式

底板有3個安裝/底板有4個安裝

電源

DC24 V(±10%),9A(MAX)/7A(MAX)

卡匣取放位置

SF Opener 280 mm