三和技研半導體無塵室傳送機械手臂｜智慧機械海外推廣計畫 | 智慧機械

三和技研半導體無塵室傳送機械手臂

SA Series

製造商

三和技研股份有限公司

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簡介

潔淨室使用的機器人晶圓傳送系統

內容規格表

◆ 採用S-Curve加減速控制，完美呈現高速平穩移動
◆ 全軸採用先進的AC伺服驅動
◆ 雙臂設計提升晶圓吞吐量
◆ 兼容真空吸取與邊緣夾取
◆ 晶圓 Mapping(選配)

Z軸工作範圍

300/350/500 mm

θ軸工作範圍

340°

R/L軸(臂)工作範圍

410/515/615mm

Z軸速度

最大 400mm/s；平均 1.17 s/350mm

θ軸速度

最大300°/s ; 平均1.90s/340°

R/L軸(臂)速度

最大1090/1340/1675 mm/s ; 平均0.7s 385/475/595mm

重覆精度

±0.1mm

潔淨度

ISO Class 2

電源

交流 220 V,50Hz/60Hz,單相,11A

有效負載

3 公斤重以下