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三和技研自動搬運儲存系統

Front-End Stocker System

製造商

三和技研股份有限公司

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簡介

三和技研 Front-End Stocker System ( 自動搬運儲存系統) 與立式爐設備連結達到製程全自動化功能

內容規格表

◆ 客製化全自動300mm晶圓FOUP儲存設備，可儲存多達26組FOUP
◆ 採用先進機器人技術及整合多種運動和控制軟件技術，實現完全自動化FOUP存放，檢索和跟蹤操作
◆ 配合Camera及手操器的應用，實現可基外Teaching的功能
◆ N2/XCDA Purge系統(選配)，應用在FOUP儲存，增加Q time
◆ ISO Class 5 環境
◆ Foup暫存區便於lot準備
◆設備結構與通訊協定符合SEMI規範

埠數

18 埠

搬運物件

300mm晶圓滿載

載入,載出埠

Sanwa Load Port

機器手臂

FV Series

重複性精度

±0.2 mm

潔淨度

Class 5 @0.3μm(HEPA)

選配

N2 Purge

電源

220VAC,50Hz/60Hz