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東佑達 空氣軸承平台

Air Bearing

製造商

東佑達自動化科技股份有限公司

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簡介

在線性精度、平面度、直線度、直交度、Pitch、Yaw及速度漣波等等的高精度需求解決方案,目前實績規格可以達到300 nm以內線性精度、1 µm平面度及直線度、1 arc-sec以內之Pitch、Yaw及正交度等規格另也提供高階運動控制器整合之服務並輔佐雷射干涉儀及二維視覺量測校正服務以盡其完備在精密定位平台上的完整服務。

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•節流元件直接崁入於高精度構件之運動介面
•實現高剛性與高承載能力
•機台構件之少量化與簡單化
•運用構件之幾何精度規劃及特殊機構設計方式
•最優化之多軸運動精度
•長期性能穩定性與可靠度

有效行程
400mm
最大加速度
10G
重覆精度
1μm
半導體/高速移載取放料