智慧工廠系統整合 - 半導體/光電產線｜智慧機械

敘述: GTR系列搭載全鑫核心技術的液靜壓主軸及轉盤，具備高剛性及高精度等優點，特別適合應用在第三代半導體或再生晶圓研磨，易操作、功能齊全、高性價比的研磨設備，採用手動裝片模式，配置自動厚度量測系統、自動補償系統，可自動研磨至目標尺寸精度。本機台配置單主軸、單工作台，可滿足4"-12"的多元化產品加工應用。

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三和技研半導體無塵室傳送機械手臂更多資訊

SA Series

品牌廠商:

三和技研股份有限公司

敘述: 潔淨室使用的機器人晶圓傳送系統

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三和技研晶圓定位器更多資訊

HAL Series

品牌廠商:

三和技研股份有限公司

敘述: 晶圓定位器可涵蓋多種晶圓尺寸及形狀,能提供精確的量測晶圓放置的方向

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三和技研 SMIF Indexer 更多資訊

SMIF Indexer

品牌廠商:

三和技研股份有限公司

敘述: 使用於8"晶圓晶舟 ( SMIF POD )傳送盒之開啟與關閉

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三和技研前端設備模組更多資訊

DLR-F Series

品牌廠商:

三和技研股份有限公司

敘述: 三和技研 EFEM ( Equipment Front End Module )( 前端設備模組 ) 提供12吋製程設備自動化上下料之解決方案

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三和技研自動搬運儲存系統更多資訊

Front-End Stocker System

品牌廠商:

三和技研股份有限公司

敘述: 三和技研 Front-End Stocker System ( 自動搬運儲存系統) 與立式爐設備連結達到製程全自動化功能

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京碼厚膜雷射微蝕刻設備更多資訊

客製化機種

精密雷射機台

厚膜

雷射微蝕刻

品牌廠商:

京碼股份有限公司

敘述: 此雷射微蝕刻設備可處理厚膜材料，製作圖案化基板。雷射微蝕刻厚膜製程會產生粉塵，粉塵會造成不良品，導致低良率。為解決上述問題，本機以專利技術來倒掛產品，使加工面朝下，讓粉塵因重力而自然落下，不會掉落於產品表面，後續無須清潔。此機整合特製倒掛高精密運動平台控制模組與雷射光學聚焦系統，在倒掛運動下進行精密雷射加工製造，落下的粉塵被吸塵負壓吸走，能夠高穩定性產出，達成高良率。

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清除搜尋

惠特科技股份有限公司

官方網站: https://www.fittech.com.tw/

公司地址: 407 台中市西屯區工業區35路3號

全鑫精密工業股份有限公司

官方網站: https://www.grintimate.com/

公司地址: 407 台中市西屯區工業區三十六路23號

三和技研股份有限公司

官方網站: http://www.sanwa-eng.com.tw/

公司地址: 新竹縣芎林鄉五龍村五和街228號

京碼股份有限公司

官方網站: http://www.hortek.com.tw/

公司地址: 新竹科學園區新竹市東區研發二路13號1樓

產品關鍵字

陶瓷基板鑽孔

via鑽孔

雷射鑽孔

雷射晶圓刻印

晶圓刻印

液靜壓晶圓研磨機

晶圓研磨機

立式磨床

晶圓減薄機

精密雷射機台

厚膜

雷射微蝕刻