在半導體或光電產業中,有許多製程是需要在高溫無塵的環境下作業,無法依賴人工操作,自動化的製程設備就變得非常需要。像是光電面板廠或半導體廠所需要的晶圓傳送設備(EFEM)、晶舟自動化傳送設備(SMIF)或是晶圓儲存設備(STOCKER SYSTEM)等,都有大量專用機器人的需求。
在半導體或光電產業中,有許多製程是需要在高溫無塵的環境下作業,無法依賴人工操作,自動化的製程設備就變得非常需要。像是光電面板廠或半導體廠所需要的晶圓傳送設備(EFEM)、晶舟自動化傳送設備(SMIF)或是晶圓儲存設備(STOCKER SYSTEM)等,都有大量專用機器人的需求。